数控精密研磨机的精度测量是一个多层次、系统化的过程，涵盖了从机床本身静态精度到动态加工性能的全面评估。其核心目的不仅是验证设备是否达标，更是为了确保持续稳定地加工出高精度工件。

静态精度（几何精度）测量

这是数控精密研磨机床在无负荷或精加工条件下的基础精度，决定了机床的“骨架”是否稳固。

运动精度测量

这部分主要评估数控系统驱动下，机床各轴运动的准确性和稳定性，是数控机床的核心精度指标。

定位精度

定义：机床运动部件实际到达的位置与程序指令目标位置之间的偏差。

测量方法：在全行程内选择多个目标位置（如每50mm一个点），使用激光干涉仪进行测量。在每个位置进行多次（通常5次）正向和反向定位。

重复定位精度

定义：在相同条件下，对同一目标位置进行多次重复定位时，实际到达位置之间的一致性。它更直观地反映了机床运动的稳定性和可靠性，是评价加工一致性的关键。

测量方法：在行程中点及两端选3个位置，每个位置用快速移动重复定位7次，测出读数最大差值，以三个位置中最大差值的二分之一附上正负号作为结果。

数值意义：高精密研磨机的重复定位精度通常要求达到±0.001mm至±0.005mm量级。

反向误差（失动量）

定义：包括传动链中的反向间隙和弹性变形等，是影响定位精度和重复定位精度的重要因素。

测量方法：在行程内预置基准后，先向一个方向移动，再反向移动相同距离，测量停止位置与基准位置的差值。在中点和两端共3个位置各测7次，取平均值中的大值。